電容式壓力變送器:
①電容式變送器采用微位移式的工作原理,并采用差動(dòng)電容作為檢測(cè)元件,因此整個(gè)變送器無(wú)機(jī)械傳動(dòng)和機(jī)械調(diào)整部分,其*可微動(dòng)的部分是一個(gè)有預(yù)張力的中心感壓膜片,因此其結(jié)構(gòu)非常簡(jiǎn)單。同時(shí)測(cè)壓部分應(yīng)用了液壓傳遞原理,因此測(cè)壓部件主要結(jié)構(gòu)只有感壓片和弧形容室,并全部采用熔焊的固體化結(jié)構(gòu),從而使變送器具有高度、高穩(wěn)定性、高可靠性和高抗振性。
②電容式變送器的調(diào)零和調(diào)量程等全部采用多圈電位器來(lái)進(jìn)行調(diào)整,并能在不打開(kāi)殼蓋情況下在外部對(duì)全測(cè)量范圍作連續(xù)均勻的調(diào)節(jié),其量程的可調(diào)范圍為1:6以上。而量程始點(diǎn)的遷移,在整個(gè)測(cè)量范圍
內(nèi)無(wú)論正遷或負(fù)遷移,只要撥動(dòng)一下開(kāi)關(guān)就能實(shí)現(xiàn),因此使用和維護(hù)都非常方便。
③具有阻尼調(diào)節(jié)裝置,因此可用于脈動(dòng)壓力的測(cè)量。
④采用球形曲面的過(guò)載保護(hù)結(jié)構(gòu),這不但使結(jié)構(gòu)大為簡(jiǎn)化'而且與一般的“波紋靠背”的過(guò)載保護(hù)相比,其可靠性更勝*。
⑤電容式變送器有一般型、隔爆型和安全火花型。
擴(kuò)散硅式壓力變送器:這種變送器采用半導(dǎo)體硅作感壓元件。硅半導(dǎo)體材料具有壓阻效應(yīng),在壓力作用下,硅晶格間隙發(fā)生變化,導(dǎo)致載流子遷移率的改變,從而引起電導(dǎo)率變化。對(duì)于半導(dǎo)體電阻
體,當(dāng)機(jī)械變形時(shí),電阻率的相對(duì)變化率遠(yuǎn)大于外形尺寸L、A的相對(duì)變化率,其電阻變化率主要是壓阻效應(yīng)造成,當(dāng)半導(dǎo)體壓阻片與彈性元件處于一體,受壓而發(fā)生同一應(yīng)變時(shí),應(yīng)變量e與被測(cè)壓力p成正比,說(shuō)明半導(dǎo)體壓阻片的電阻變化率與被測(cè)壓力成正比,由此可測(cè)出壓力的變化。當(dāng)被測(cè)壓力(差壓)在全量程范圍內(nèi)波動(dòng)時(shí)(相應(yīng)壓敏電阻變化量為AR),變送器輸出統(tǒng)一信號(hào)為4~20mA。變送器中,采用IC(集成電路)技術(shù)直接在硅膜上擴(kuò)散形成應(yīng)變測(cè)量橋路元件,因此體積可做得很小。變送器具有度高、直接輸出直流信號(hào)、線性度好、適用溫度范圍廣、重量輕、體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等特點(diǎn),可用于靜壓、動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量。