濕度傳感器的種類很多,沒有統(tǒng)一分類標(biāo)準(zhǔn)。按探測功能來分,可分為濕度型、相對濕度型和結(jié)露型,期中濕度型為數(shù)甚少;按傳感器的輸出信號來分,可分為電阻型、電容型、電抗型和頻率型等,期中電阻型zui多;按濕敏元件工作機(jī)理來分,可分為親合力型和非水分子親合力型兩大類,其中水分子親合力型應(yīng)用更廣泛;按材料來分,可分為陶瓷型。有機(jī)高分子型,半導(dǎo)體型和電解質(zhì)型等。
利用陶瓷濕度敏感材料制成的濕度傳感器稱為陶瓷濕度傳感器。陶瓷濕度敏感材料主要是利用陶瓷燒結(jié)制備時(shí)形成的多孔結(jié)構(gòu),吸附或凝聚水分子作用導(dǎo)電通路,從而改變陶瓷本身的電導(dǎo)率或電容量。利用多孔結(jié)構(gòu)的陶瓷的電導(dǎo)率或電容量隨外界濕度變化的特點(diǎn),可以制成濕度傳感器。
陶瓷濕度敏感材料按其結(jié)構(gòu)可以分為尖晶石型、金紅石型、鈣鈦礦型等;按其感濕特性大體可以分為電阻型、電容型和阻抗型等;按其工藝特點(diǎn)可以分為燒結(jié)型、厚膜型、薄膜型和MOS型等。
陶瓷濕度傳感器的產(chǎn)品有MgCr2O4- TiO2(鉻酸鎂-二氧化鈦系)、ZnO-Cr203(氧化鋅一三氧化二鉻)系、ZrO2系、AL2O3系、 TiO2-V2O5(二氧化鈦)系、Fe3O4系。_它們的感溫特征量大多數(shù)為電阻,除Fe3O4系外,都為負(fù)特牲濕敏傳感器,即隨著環(huán)境濕度的增加電阻值降低。
陶瓷濕度管感器有很多優(yōu)點(diǎn),例如,測濕范圍寬,基本上可實(shí)現(xiàn)全濕范圍內(nèi)的濕度測量;工作溫度高,常溫濕度傳感器的工作溫度在150度以下,而高溫濕度傳感器的工作溫度可達(dá)到800度;響應(yīng)時(shí)間短,多孔陶瓷的表面積大,易于吸濕和脫濕;濕滯小、抗沾污、可高溫清洗;靈敏度高、穩(wěn)定性好。